A microactuator includes a wafer; a lower electrode formed on an upper surface of the wafer; a side electrode formed on the upper surface of the wafer in a perpendicular relation with the lower electrode; a pair of supporting posts protruding from the upper surface of the wafer, spaced from the lower electrode at a predetermined distance, respectively; a reflector spaced from the side electrode at a predetermined distance, and facing the lower electrode; and a pair of torsion springs disposed between the reflector and the supporting posts, and elastically supporting the reflector enabling pivoting movement of the reflector. By employing the side electrode, the microactuator can be driven with a low voltage. Also, since the side electrode serves as a stopper, the microactuator can pivot the reflector at an exact desired angle, without having to use a separate device.

Microactuator вклюает вафлю; более низкий электрод сформировал на верхней поверхности вафли; бортовой электрод сформировал на верхней поверхности вафли в перпендикулярном отношении с более низким электродом; пара поддерживать вывешивает выступать от верхней поверхности вафли, размеченной от более низкого электрода на предопределенном расстоянии, соответственно; рефлектор размеченный от бортового электрода на предопределенном расстоянии, и облицовки более низкий электрод; и пара весен кручения размещала между рефлектором и поддерживая столбами, и эластично поддерживать рефлектор включающ делая поворот движение рефлектора. Путем использовать бортовой электрод, microactuator можно управлять с низким напряжением тока. Также, в виду того что бортовой электрод служит как затвор, microactuator может сделать поворот рефлектор на точно заданном угле, без использовать отдельно приспособление.