The present invention reduces the waveguide loss in an optical coupling between an optical waveguide layer and a photodetector. A cladding layer having a first refractive index is formed on a photodetector formed on a substrate by repeating spin-coating and curing of SOG. The cladding layer is formed in such a way as to gently cover a step portion between the photodetector and a light shielding layer. An optical waveguide layer which can allow propagating light to be coupled to the photodetector is formed on the cladding layer. This structure can suppress steep curvature of the optical waveguide layer above the photodetector.

La présente invention réduit la perte de guide d'ondes d'un accouplement optique entre une couche optique de guide d'ondes et un détecteur photoélectrique. Une couche de revêtement ayant un premier indice de réfraction est formée sur un détecteur photoélectrique formé sur un substrat en répétant tourner-enduire et traiter de SOG. La couche de revêtement est formée de façon à couvrir doucement une partie d'étape entre le détecteur photoélectrique et une couche d'armature mince. Une couche optique de guide d'ondes qui peut laisser propager la lumière à coupler au détecteur photoélectrique est formée sur la couche de revêtement. Cette structure peut supprimer la courbure raide de la couche optique de guide d'ondes au-dessus du détecteur photoélectrique.