An optical waveguide has first dielectric substance region which is formed on a surface of the crystalline silicon substrate, and has second dielectric substance region which is formed outside first dielectric substance region. First dielectric substance region is provided with a region in which a concentration of impurity elements for increasing and/or decreasing a refractive index in a direction of transmitting light is periodically increased and decreased, or provided with a corrugated structure, or wherein its width is periodically changed. Therefore, utilizing the property of thermal equilibrium, the optical waveguide has a grating which is thermally stable even at ordinary temperatures.

Un guide d'ondes optique a la première région diélectrique de substance qui est formée sur une surface du substrat cristallin de silicium, et a la deuxième région diélectrique de substance qui est la première région diélectrique formée de substance d'extérieur. La première région diélectrique de substance est équipée de région dans laquelle une concentration des éléments d'impureté pour augmenter et/ou diminuer un indice de réfraction dans une direction de lumière de transmission est périodiquement augmentée et diminuée, ou équipée de structure ondulée, ou où sa largeur est périodiquement changée. Par conséquent, utilisant la propriété de l'équilibre thermique, le guide d'ondes optique a un râpage qui est thermiquement écurie même aux températures ordinaires.