A method of examining thin layer structures on a surface for differences in
respect of optical thickness, which method comprises the steps of:
irradiating the surface with light so that the light is internally or
externally reflected at the surface; imaging the reflected light on a
first two-dimensional detector; sequentially or continuously scanning the
incident angle and/or wavelength of the light over an angular and/or
wavelength range; measuring the intensities of light reflected from
different parts of the surface and impinging on different parts of the
detector, at at least a number of incident angles and/or wavelengths, the
intensity of light reflected from each part of the surface for each angle
and/or wavelength depending on the optical thickness of the thin layer
structure thereon; and determining from the detected light intensities at
the different light incident angles and/or wavelengths an optical
thickness image of the thin layer structures on the surface. According to
the invention, part of the light reflected at said surface is detected on
a second detector to determine the incident angle or wavelength of the
polarized light irradiating the surface. An apparatus for carrying out the
method is also disclosed.
Um método de examinar estruturas finas da camada em uma superfície para diferenças no respeito da espessura ótica, de que o método compreende as etapas: irradiating a superfície com luz de modo que a luz seja refletida internamente ou externamente na superfície; imagem latente a luz refletida em um primeiro detetor bidimensional; sequencialmente ou continuamente fazendo a varredura do ângulo do incident e/ou do wavelength da luz sobre uma escala angular e/ou de wavelength; medir as intensidades da luz refletiu das partes diferentes da superfície e impinging em partes diferentes do detetor, ao menos em um número ângulos e/ou de wavelengths do incident, a intensidade da luz refletida de cada parte da superfície para cada ângulo e/ou wavelength dependendo da espessura ótica da estrutura fina da camada thereon; e determinando das intensidades claras detectadas nos ângulos e/ou nos wavelengths claros diferentes do incident uma imagem ótica da espessura da camada fina estrutura na superfície. De acordo com a invenção, a parte da luz refletida em superfície dita é detectada em um segundo detetor para determinar o ângulo do incident ou o wavelength da luz polarizada que irradiating a superfície. Um instrumento para realizar o método é divulgado também.
