A method and apparatus for producing schedules for a wafer in a multichamber semiconductor wafer processing tool comprising the steps of providing a trace defining a series of chambers that are visited by a wafer as the wafer is processed by the tool; initializing a sequence generator with a value of a variable defining initial wafer positioning within the tool; generating all successor variables for the initial variable value to produce a series of values of the variable that represent a partial schedule; backtracking through the series of variables to produce further partial schedules; and stopping the backtracking when all possible variable combinations are produced that represent all possible valid schedules for the trace. All the possible schedules are analyzed to determine a schedule that produces the highest throughput of all the schedules.

Een methode en een apparaat om programma's voor een wafeltje in een hulpmiddel dat van de het wafeltjeverwerking te veroorzaken van de multichamberhalfgeleider uit de stappen van het verstrekken van een spoor bestaat dat een reeks kamers bepaalt die door een wafeltje als wafeltje worden bezocht worden verwerkt door het hulpmiddel; het initialiseren van een opeenvolgingsgenerator met een waarde van een variabele die het aanvankelijke wafeltje plaatsen bepaalt binnen het hulpmiddel; producerend alle opvolgervariabelen voor de aanvankelijke veranderlijke waarde om een reeks waarden van de variabele te veroorzaken die een gedeeltelijk programma vertegenwoordigen; het terugkrabbelen door de reeks variabelen om verdere gedeeltelijke programma's te veroorzaken; en tegenhoudend het terugkrabbelen wanneer alle mogelijke veranderlijke combinaties worden veroorzaakt die alle mogelijke geldige programma's voor het spoor vertegenwoordigen. Alle mogelijke programma's worden geanalyseerd om een programma te bepalen dat de hoogste productie van alle programma's veroorzaakt.