MEMS devices include a substrate, an anchor attached to the substrate, and a multilayer member attached to the anchor and spaced apart from the substrate. The multilayer member can have a first portion that is remote from the anchor and that curls away from the substrate and a second portion that is adjacent the anchor that contacts the substrate. Related methods are also disclosed.

Los dispositivos de MEMS incluyen a un substrato, a un ancla unida al substrato, y a miembro de múltiples capas unido al ancla y espaciado aparte de el substrato. El miembro de múltiples capas puede tener una primera porción que esté alejada del ancla y que se encrespe lejos del substrato y de una segunda porción que sea adyacente el ancla que entra en contacto con el substrato. Los métodos relacionados también se divulgan.