A micro-electro-mechanical systems (MEMS) type electrostatic microactuator has a fixed electrode and a movable electrode, with the movable electrode being attached to the substrate by a flexure. Each electrode has a plurality of fingers with the fixed electrode fingers and the movable electrode fingers interleaved in a comb-like arrangement. A nonconductive viscous liquid is located between the fingers for damping motion of the movable electrode relative to the fixed electrode. The liquid is held in a reservoir attached to the movable electrode. Capillary pressure pulls the liquid from the reservoir into the small gaps between the interleaved fingers.

Eine Mikro--electro-mechanische Systeme (MEMS) Art elektrostatisches microactuator hat eine örtlich festgelegte Elektrode und eine bewegliche Elektrode, wenn die bewegliche Elektrode zum Substrat angebracht ist, durch eine Biegung. Jede Elektrode hat eine Mehrzahl der Finger mit den örtlich festgelegten Elektrode Fingern und den beweglichen Elektrode Fingern, die in einer comb-like Anordnung durchgeschoben werden. Eine nicht leitfähige zähflüssige Flüssigkeit befindet sich zwischen den Fingern für die Dämpfung Bewegung der beweglichen Elektrode im Verhältnis zu der örtlich festgelegten Elektrode. Die Flüssigkeit wird in einem Vorratsbehälter gehalten, der zur beweglichen Elektrode angebracht wird. Haarartiger Druck zieht die Flüssigkeit vom Vorratsbehälter in die kleinen Abstände zwischen den durchgeschobenen Fingern.