Xenon gas is added from a small-sized Xe gas cylinder (15) to the excimer laser gas inside a chamber (10) supplied from an Ar/Ne gas cylinder (13) and an Ar/Ne/F.sub.2 gas cylinder (14), the xenon gas proportion is detected by an Xe gas sensor (16), and the supply of the xenon gas supplied to the chamber (10) from the Xe gas cylinder (15) is controlled by a gas controller (18).

Het gas van het xenon wordt van een kleine Xe gascilinder (15) aan het excimer lasergas binnen een kamer (10) toegevoegd die uit een het gascilinder van AR/van Ne (13) wordt geleverd en een Ar/Ne/F.sub.2 gascilinder (14), wordt het aandeel van het xenongas ontdekt door een Xe gassensor (16), en de levering van het xenongas dat aan kamer (10) van Xe gascilinder (15) wordt geleverd wordt gecontroleerd door een gascontrolemechanisme (18).