An alignment mark set is provided, which facilitates the formation of a
desired contour of each alignment mark and which suppresses the
degradation of measurement accuracy for alignment of patterns. This
alignment mark set comprises: (a) a first alignment mark formed in an
exposure area; the area having a periphery, first central axis, and a
second central axis perpendicular to the first axis; the first alignment
mark being located near the first central axis and apart from the second
axis; (b) a second alignment mark formed in the exposure area; the second
alignment mark being located near the second central axis and apart from
the first axis; and (c) when the exposure areas are regularly arranged in
such a way as to have a same orientation in a plane, each of the first and
second alignment marks in one of the sets is not located close to the
first and second alignment marks in another of the sets, thereby ensuring
irradiation of exposing light to all the areas. It is preferred that each
of the first and second marks is square.
Se proporciona un sistema de la marca de alineación, que facilita la formación de un contorno deseado de cada marca de alineación y que suprime la degradación de la exactitud de la medida para la alineación de patrones. Este sistema de la marca de alineación abarca: (a) una primera marca de alineación formó en un área de la exposición; el área que tiene una periferia, un primer eje central, y un segundo perpendicular central del eje al primer eje; la primera marca de alineación que es situada cerca del primer eje central y aparte de el segundo eje; (b) una segunda marca de alineación formó en el área de la exposición; la segunda marca de alineación que es situada cerca del segundo eje central y aparte de el primer eje; y (c) cuando las áreas de la exposición se arreglan regularmente de tal manera en cuanto a tenga una misma orientación en un plano, cada uno de las primeras y segundas marcas de alineación en uno de los sistemas no está situado cerca de las primeras y segundas marcas de alineación en otros de los sistemas, de tal modo asegurando la irradiación de exponer la luz a todas las áreas. Se prefiere que cada uno de las primeras y segundas marcas es cuadrado.
