A polishing apparatus for polishing a surface of a workpiece includes a housing unit, a partition wall partitioning an interior of the housing unit into a first chamber and a second chamber, a polishing section disposed in the first chamber and having a turntable with an abrasive cloth mounted on an upper surface thereof and a top ring positioned above the turntable for supporting the workpiece to be polished and pressing the workpiece against the abrasive cloth, and a cleaning section disposed in the second chamber and cleaning the workpiece which has been polished. The polishing apparatus further includes a transferring device for transferring the workpiece which has been polished from the polishing section to the cleaning section through an opening and an exhaust system for exhausting ambient air from each of the polishing section and cleaning section separately and independently.

Un appareil de polissage pour polir une surface d'un objet inclut une unité réceptrice, une cloison de séparation divisant un intérieur de l'unité réceptrice dans une première chambre et une deuxième chambre, d'une section de polissage disposées dans la première chambre et ayant une plateau tourne-disques avec un tissu abrasif monté sur un extrados en et un anneau supérieur placé au-dessus de la plateau tourne-disques pour soutenir l'objet pour être poli et serrer l'objet contre le tissu abrasif, et d'une section de nettoyage disposée dans la deuxièmes chambre et nettoyage l'objet qui a été poli. L'appareil de polissage inclut plus loin un dispositif de transfert pour transférer l'objet qui a été poli de la section de polissage à la section de nettoyage par une ouverture et d'un dispositif d'échappement pour épuiser l'air ambiant de chacune de la section de polissage et nettoyer la section séparément et indépendamment.