Apparatus and method for abatement of effluent from multi-component metal oxides deposited by CVD processes using metal source reagent liquid solutions which comprise at least one metal coordination complex including a metal to which is coordinatively bound at least one ligand in a stable complex and a suitable solvent medium for that metal coordination complex e.g., a metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) process for forming barium strontium titanate (BST) thin films on substrates. The effluent is sorptively treated to remove precursor species and MOCVD process by-products from the effluent. An endpoint detector such as a quartz microbalance detector may be employed to detect incipient breakthrough conditions in the sorptive treatment unit.

Прибор и метод для abatement effluent от multi-component окисей металла депозированных CVD обрабатывают использующ разрешения реагента источника металла жидкостные состоят из по крайней мере одного комплекса координации металла включая металл к coordinatively прыгнуто по крайней мере одно ligand в стабилизированном сложном и целесообразном растворяющем средстве для того комплекса координации металла например, metalorganic процесс низложения химически пара (mocvd) для формировать пленки титаната стронция бария (bst) тонкие на субстратах. Effluent sorptively обработан для того чтобы извлечь вид прекурсора и субпродукты mocvd отростчатые от effluent. Детектор endpoint such as детектор микровеса кварца может быть использован для того чтобы обнаружить incipient условия прорыва в sorptive блоке обработки.