The optical waveguide coupler comprises a structure (1) of a number of elongated narrow optical waveguide strips (2), which consist respectively of a front area (3), a center area (4) and a coupling area (5). The center area (4) has respective transition areas (6) and (7) to the corresponding area (3) or (5). A gap (9) in the front areas (3) provided between two adjoining strips (2) is larger than the thickness of the narrow strips (2). The front faces (8) of the front areas (3), and the front faces of the coupling areas (5) are embodied to be as smooth as possible, wherein all strips form a stack in the coupling area (5). The gaps are pits which result from etching of an Si substrate with the aid of a DRIE etching process.

Ο οπτικός συζευκτήρας κυματοδηγού περιλαμβάνει μια δομή (1) διάφορων επιμηκυμένων στενών οπτικών λουρίδων κυματοδηγού (2), οι οποίες αποτελούνται αντίστοιχα από μια μπροστινή περιοχή (3), μια κεντρική περιοχή (4) και μια περιοχή συζεύξεων (5). Η κεντρική περιοχή (4) έχει τις αντίστοιχες περιοχές μετάβασης (6) και (7) στην αντίστοιχη περιοχή (3) ή (5). Ένα χάσμα (9) στις μπροστινές περιοχές (3) που παρέχονται μεταξύ δύο γειτονεύοντας με λουρίδων (2) είναι μεγαλύτερο από το πάχος των στενών λουρίδων (2). Το μέτωπο αντιμετωπίζει (8) των μπροστινών περιοχών (3), και τα μπροστινά πρόσωπα των περιοχών συζεύξεων (5) ενσωματώνονται για να είναι όσο το δυνατόν ομαλότερα, όπου όλες οι λουρίδες διαμορφώνουν έναν σωρό στην περιοχή συζεύξεων (5). Τα χάσματα είναι κοιλώματα που προκύπτουν από τη χαρακτική ενός υποστρώματος Si με την ενίσχυση μιας διαδικασίας χαρακτικής DRIE.