The end of a nozzle of a laser-excited plasma light source is made of a specific material, such as silicon Si, the transmittance of which to EUV light is higher than those of heavy metals. Therefore, even if the temperature of the end of the nozzle is higher than the melting point of the specific material because of the high temperature of the plasma produced around the focal point, the end of the nozzle is therefore eroded, and sputtered particles of the material adhere to a light-collecting mirror provided near the nozzle, the degradation of the reflectance of the light-collecting mirror is mitigated compared to the transmittance of the sputtered particles (specific material) to EUV light is higher than those of heavy metals.

A extremidade de um bocal de uma fonte clara laser-excitada do plasma é feita de um material específico, tal como o silicone do silicone, o transmittance de que à luz de EUV é mais elevado do que aqueles de metais pesados. , nivele conseqüentemente se a temperatura da extremidade do bocal for mais elevada do que o ponto de derretimento do material específico por causa da alta temperatura do plasma produzido em torno do ponto focal, a extremidade do bocal é corroído conseqüentemente, e as partículas sputtered do material aderem a um espelho decoleta forneceram perto do bocal, a degradação da reflectância do espelho decoleta mitigated compararam ao transmittance das partículas sputtered (material específico) à luz de EUV são mais elevadas do que aquelas de metais pesados.