A microelectromechanical (MEM) device with an expanded PTFE material over
the gap between movable structures to provide electrical connection across
the gap and prevent particles from contaminating the gap. A
microelectromechanical (MEM) device is also immobilized by placing an
expanded PTFE material over the gap between movable structures. The
expanded PTFE material can be made stiff during manufacture and then
flexible after the manufacturing process is complete. An embodiment of the
invention is a MEM device configured as a micro-actuator for a
dual-actuator hard disk drive.
Un dispositivo microelectromechanical (MEM) con un material ampliado de PTFE sobre el boquete entre las estructuras movibles para proporcionar la conexión eléctrica a través del boquete y para evitar que las partículas contaminen el boquete. Un dispositivo microelectromechanical (MEM) también es inmovilizado poniendo un material ampliado de PTFE sobre el boquete entre las estructuras movibles. El material ampliado de PTFE se puede hacer tieso durante la fabricación y entonces flexible después de que el proceso de fabricación sea completo. Una encarnación de la invención es un dispositivo de MEM configurado como micro-actuador para una impulsión de disco duro del dual-actuador.