An inactive gas is introduced into an organic material evaporation source to place a thin organic film material in the organic material evaporation source in an atmosphere having a relatively high pressure, and the temperature of the thin organic film material is increased up to a certain temperature. Then, the organic material evaporation source is evacuated to lower the pressure around the thin organic film material for thereby causing the thin organic film material to emit a vapor. Since no wasteful vapor is emitted from the thin organic film material, the thin organic film material is effectively utilized. Because the inactive gas acts as a heating medium, the temperature of the thin organic film material is increased at a high rate, and the thin organic film material is uniformly heated. When the temperature of the thin organic film material is lowered in an inactive gas atmosphere, it can be lowered at a high rate. The inactive gas is introduced directly into the organic material evaporation source by an on-off valve, the time required to evacuate the organic material evaporation source is reduced. A liquid thin organic film material may be heated by a heating medium in the organic material evaporation source, so that the liquid thin organic film material will not be heated to a temperature higher than the temperature of the heating medium, and hence will not suffer bumping due to a temperature overshooting.

Un gas inattivo è introdotto in una fonte materiale organica di evaporazione per disporre un materiale organico sottile della pellicola nella fonte materiale organica di evaporazione in un atmosfera che ha relativamente un ad alta pressione e la temperatura del materiale organico sottile della pellicola è aumentata fino ad una determinata temperatura. Allora, la fonte materiale organica di evaporazione è evacuata per abbassare la pressione intorno al materiale organico sottile della pellicola per quindi indurre il materiale organico sottile della pellicola ad emettere un vapore. Poiché nessun vapore dispendioso è emesso dal materiale organico sottile della pellicola, il materiale organico sottile della pellicola è utilizzato efficacemente. Poiché il gas inattivo funge da mezzo del heating, la temperatura del materiale organico sottile della pellicola è aumentata ad un alto tasso ed il materiale organico sottile della pellicola è riscaldato uniformemente. Quando la temperatura del materiale organico sottile della pellicola è abbassata in un atmosfera inattivo del gas, può essere abbassata ad un alto tasso. Il gas inattivo è introdotto direttamente nella fonte materiale organica di evaporazione da una valvola on-off, il tempo richiesto per evacuare la fonte materiale organica di evaporazione è ridotto. Un materiale organico sottile liquido della pellicola può essere riscaldato da un mezzo del heating nella fonte materiale organica di evaporazione, di modo che il materiale organico sottile liquido della pellicola non sarà riscaldato ad una temperatura più superiore alla temperatura del mezzo del heating e quindi non soffrirà urtare dovuto un sorpasso di temperatura.