The present invention concerns a method and an apparatus for removing substances from gases discharged from gas phase reactors. In particular, the invention provides a method for removing substances contained in gases discharged from an ALD reaction process, comprising contacting the gases with a "sacrificial" material having a high surface area kept at essentially the same conditions as those prevailing during the gas phase reaction process. The sacrificial material is thus subjected to surface reactions with the substances contained in the gases to form a reaction product on the surface of the sacrificial material and to remove the substances from the gases. The present invention diminishes the amount of waste produced in the gas phase process and reduces wear on the equipment.

Die anwesende Erfindung betrifft eine Methode und einen Apparat für das Entfernen der Substanzen von den Gasen, die von den Gasphasereaktoren entladen werden. Insbesondere stellt enthält die Erfindung eine Methode für das Entfernen der Substanzen zur Verfügung, die in den Gasen enthalten werden, die von einem ALD Reaktion Prozeß entladen werden und mit den Gasen in Verbindung tretend mit einem "Opfer" Material, das eine hohe Fläche hat, die im Wesentlichen an den gleichen Bedingungen gehalten wird, wie die, die während der Gasphasereaktion vorherschen, verarbeiten. Das Opfermaterial wird folglich Oberflächenreaktionen mit den Substanzen unterworfen, die in den Gasen, um ein Reaktion Produkt auf der Oberfläche des Opfermaterials zu bilden enthalten werden und die Substanzen von den Gasen zu entfernen. Die anwesende Erfindung vermindert die Menge der Vergeudung produziert im Gasphaseprozeß und verringert Abnutzung auf der Ausrüstung.