Tetrahydrofuran compounds of formula (1) wherein the broken line represents a single bond, a divalent organic group, or a structure in which the alicyclic structure in the form of norbornene or tetracyclo[4.4.0.1.sup.2,5.1.sup.7,10 ]dodecene and the tetrahydrofuran cyclic structure share one or two constituent carbon atoms, and k is 0 or 1 are novel and useful as monomers to form base resins for use in chemically amplified resist compositions adapted for micropatterning lithography ##STR1##

Смеси тетрагидрофурана формулы (1) при котором ломанаяа линия представляет одиночное скрепление, divalent органическую группу, или структуру в которой алициклическая структура in the form of norbornene или ]dodecene tetracyclo[4.4.0.1.sup.2,5.1.sup.7,10 и структура тетрагидрофурана цикловая делят один или два миллиона составный атом углерода, и к 0 или 1 романом и полезными по мере того как мономеры для того чтобы сформировать низкопробные смолаы для пользы в химически после того как я усилены сопротивляют составам приспособленным для micropatterning ## ## STR1 литографированием