A conductive substrate supports an array of multi-channel optical attenuating devices. Each attenuating device includes a membrane with an optically transparent portion And a flexible support for positioning the optically transparent portion of the membrane spaced from the substrate for defining an air gap. The air gap constitutes a cross-shaped gap-chamber having a horizontally and vertically elongated chambers extended from a central intersection area functioning as an optical active area. A voltage bias circuit applies an electrical bias between the conductive substrate and the membrane to adjust and control an air-gap thickness at the optical active area between the conductive substrate and the membrane. Each of the devices can be manufactured on the same silicon wafer using the same process and can be individually controlled to accommodate different wavelength attenuation at each channel. Production costs, and time and efforts required for aligning the array to optical fibers are also reduced.

Ein leitendes Substrat stützt eine Reihe optische vermindernde Mehrkanalvorrichtungen. Jede vermindernde Vorrichtung schließt eine Membrane mit einem optisch transparenten Teil und eine flexible Unterstützung für die Positionierung des optisch transparenten Teils der Membrane ein, die vom Substrat für das Definieren einer Luftfunkenstrecke gesperrt wird. Die Luftfunkenstrecke setzt einen kreuzförmigen Abstand-Raum fest, der die horizontal und vertikal länglichen Räume hat, die von einem zentralen Durchschnittbereich verlängert werden, der als optischer Beschriftungsbereich arbeitet. Ein Spannung Vorspannung Stromkreis wendet eine elektrische Vorspannung zwischen dem leitenden Substrat und der Membrane an, um eine Air-gapstärke am optischen Beschriftungsbereich zwischen dem leitenden Substrat und der Membrane zu justieren und zu steuern. Jede der Vorrichtungen kann auf der gleichen Silikonoblate mit dem gleichen Prozeß hergestellt sein und kann einzeln gesteuert werden, um unterschiedliche Wellenlängeverminderung an jeder Führung unterzubringen. Produktion Kosten und die Zeit und Bemühungen, die für das Ausrichten der Reihe zu den optischen Fasern erfordert werden, werden auch verringert.