Microminiature thermionic converters (MTCs) manufactured using MEMS manufacturing techniques including chemical vapor deposition, and having high energy-conversion efficiencies and variable operating temperatures. The MTCs of the invention incorporate cathode to anode spacing of about 1 micron or less and use cathode and anode materials having work functions ranging from about 1 eV to about 3 eV. The MTCs of the present invention have maximum efficiencies of just under 30%, and thousands of the devices can be fabricated at modest costs.

Конвертеры Microminiature термоионные (MTCs) изготовили использующ технологияа производства MEMS включая низложение химически пара, и имеющ высокие эффективности энерги-preobrazovani4 и переменные рабочие температуры. MTCs вымысла включает катод к дистанционированию анода около 1 микрона или и использует материалы катода и анода имея функции работы заколебаться от около 1 eV к eV около 3. MTCs присытствыющего вымысла имеет максимальные эффективности как раз под 30%, и тысячи приспособлений можно изготовить на скромных ценах.