A microelectromechanical system (MEMS) for measuring angular rate of a carrier includes an angular rate sensor unit, microelectronic circuitry, and signal processing to obtain highly accurate, sensitive, stable angular rate measurements of the carrier under dynamic environments. Wherein, the angular rate sensor unit receives dither driver signals, capacitive pickoff excitation signals, and displacement restoring signals to output angle rate signals in response to the motion of the carrier and dither motion signals; the central circuitry receives the angle rate signals in response to the motion of the carrier and dither motion signals to output angular rate signals and digital low frequency inertial element displacement signals; a digital signal processing system analyzes digital low frequency inertial element displacement signals to feed back the dither drive signals to the angular rate sensor unit.

Un sistema microelectromechanical (MEMS) per la misurazione del tasso angolare di un elemento portante include un'unità angolare del sensore di tasso, i circuiti microelettronici e un'elaborazione dei segnali per ottenere le misure angolari altamente esatte, sensibili, stabili di tasso dell'elemento portante sotto gli ambienti dinamici. In cui, l'unità angolare del sensore di tasso riceve i segnali del driver di tremore, i segnali capacitivi di eccitazione della raccolta e lo spostamento che ristabilisce i segnali produrre il tasso di angolo segnala in risposta al movimento dei segnali di movimento di tremore e dell'elemento portante; i circuiti centrali ricevono i segnali di tasso di angolo in risposta al movimento dei segnali di movimento di tremore e dell'elemento portante produrre i segnali angolari di tasso ed i segnali inerziali a bassa frequenza digitali di spostamento dell'elemento; un sistema di elaborazione del segnale numerico analizza i segnali inerziali a bassa frequenza digitali di spostamento dell'elemento retroagire i segnali di azionamento di tremore all'unità angolare del sensore di tasso.