Within a method for forming an image array optoelectronic microelectronic
fabrication there is first provided a substrate. There is then formed at
least in part over the substrate a bidirectional array of image array
optoelectronic microelectronic pixel elements comprising a plurality of
series of patterned color filter layers corresponding with a plurality of
colors. Within the method, at least one series of patterned color filter
layers within the plurality of series of patterned color filter layers
corresponding with at least one color within the plurality of colors is
formed employing a photolithographic method which employs a plurality of
separate photoexposure steps for forming a plurality of separate
sub-series of patterned color filter layers within the series of patterned
color filter layers corresponding with the at least one color within the
plurality of colors. By employing the plurality of separate photoexposure
steps for forming the plurality of separate sub-series of patterned color
filter layers within the series of patterned color filter layers
corresponding with the at least one color within the plurality of colors,
the image array optoelectronic microelectronic fabrication is formed with
enhanced resolution.
Μέσα σε μια μέθοδο για μια οπτικοηλεκτρονική μικροηλεκτρονική επεξεργασία σειράς εικόνας παρέχεται αρχικά ένα υπόστρωμα. Διαμορφώνεται έπειτα τουλάχιστον εν μέρει πέρα από το υπόστρωμα μια αμφίδρομη σειρά οπτικοηλεκτρονικών μικροηλεκτρονικών στοιχείων εικονοκυττάρου σειράς εικόνας περιλαμβάνοντας μια πολλαπλότητα της σειράς διαμορφωμένων στρωμάτων φίλτρων χρώματος που αντιστοιχούν με μια πολλαπλότητα των χρωμάτων. Μέσα στη μέθοδο, τουλάχιστον μια σειρά διαμορφωμένων στρωμάτων φίλτρων χρώματος μέσα στην πολλαπλότητα της σειράς διαμορφωμένων στρωμάτων φίλτρων χρώματος που αντιστοιχούν με τουλάχιστον ένα χρώμα μέσα στην πολλαπλότητα των χρωμάτων διαμορφώνεται υιοθετώντας μια φωτολιθογραφική μέθοδο που υιοθετεί μια πολλαπλότητα των χωριστών βημάτων photoexposure για τη διαμόρφωση μιας πολλαπλότητας των χωριστών υπο--σειρών διαμορφωμένων στρωμάτων φίλτρων χρώματος μέσα στη σειρά διαμορφωμένων στρωμάτων φίλτρων χρώματος που αντιστοιχούν με το τουλάχιστον ένα χρώμα μέσα στην πολλαπλότητα των χρωμάτων. Με την υιοθέτηση της πολλαπλότητας των χωριστών βημάτων photoexposure για τη διαμόρφωση της πολλαπλότητας των χωριστών υπο--σειρών διαμορφωμένων στρωμάτων φίλτρων χρώματος μέσα στη σειρά διαμορφωμένων στρωμάτων φίλτρων χρώματος που αντιστοιχούν με το τουλάχιστον ένα χρώμα μέσα στην πολλαπλότητα των χρωμάτων, η οπτικοηλεκτρονική μικροηλεκτρονική επεξεργασία σειράς εικόνας διαμορφώνεται με το ενισχυμένο ψήφισμα.