A non-volatile semiconductor memory device comprising a device isolation
insulation layer, a floating gate, and control gate, and a booster
electrode. The device isolation insulation layer is formed on a
semiconductor substrate, and is for defining a device region. The floating
gate is formed above the device region and has a pair of first side faces
opposed to a side face of the device isolation insulation layer which is
located on the device region side. The control gate is formed above the
floating gate. The booster electrode has faces opposed to a pair of second
surfaces of the floating gate which are substantially perpendicular to the
pair of first side faces. A distance between the pair of first side faces
of the floating gate is equal or not more than a width of the device
region defined by the device isolation insulation layer. Dimensions of the
floating gate are determined based on a coupling ratio between the
floating gate and the booster electrode.
Слаболетучее приспособление памяти полупроводника состоя из слоя изоляции изоляции приспособления, плавая строба, и строба управления, и электрода ракеты -носителя. Слой изоляции изоляции приспособления сформирован на субстрате полупроводника, и для определять зону приспособления. Плавая строб сформирован над зоной приспособления и имеет пару сторон первой стороны сопротивляемую к бортовой стороне слоя изоляции изоляции приспособления расположен на стороне зоны приспособления. Строб управления сформирован над плавая стробом. Электрод ракеты -носителя имеет стороны сопротивляемые к паре вторых поверхностей плавая строба существенн перпендикулярны к паре сторон первой стороны. Расстояние между парой сторон первой стороны плавая строба равно или не больше чем ширина зоны приспособления определенной слоем изоляции изоляции приспособления. Обусловлены размеры плавая строба основали на коэффициенте соединения между плавая стробом и электродом ракеты -носителя.