The invention relates to an array of ultrasound transducers which each
comprise a substrate (1), a membrane (2), a first electrode (4), a
piezoelectric layer (5), and a second electrode (6), wherein the substrate
(1) comprises at least one opening (3) which adjoins the membrane (2) at
one side, while the piezoelectric layer (5) has a high piezoelectric
coupling coefficient k and is textured. The invention further relates to
an ultrasound transducer and to a method of manufacturing an array of
ultrasound transducers.
Η εφεύρεση αφορά μια σειρά μετατροπέων υπερήχου που κάθε μια περιλαμβάνει ένα υπόστρωμα (1), μια μεμβράνη (2), ένα πρώτο ηλεκτρόδιο (4), ένα πιεζοηλεκτρικό στρώμα (5), και ένα δεύτερο ηλεκτρόδιο (6), όπου το υπόστρωμα (1) περιλαμβάνει τουλάχιστον ένα ανοίγοντας (3) που γειτονεύει με τη μεμβράνη (2) σε μια πλευρά, ενώ το πιεζοηλεκτρικό στρώμα (5) έχει έναν υψηλό πιεζοηλεκτρικό συντελεστή Κ συζεύξεων και είναι κατασκευασμένο. Η εφεύρεση αφορά περαιτέρω έναν μετατροπέα υπερήχου και μια μέθοδο μια σειρά μετατροπέων υπερήχου.