To restrain nonuniformity of irradiation when a linear laser beam is irradiated by scanning the beam, linear laser pulses are irradiated by scanning the pulses in an oblique direction by which irradiation is carried out without overlapping peaks periodically present in the longitudinal direction of the linear laser beam and accordingly, nonuniformity of irradiation can be restrained.

Um nonuniformity der Bestrahlung zurückzuhalten wenn ein linearer Laserstrahl bestrahlt wird indem man den Lichtstrahl ablichtet, werden lineare Laser Impulse indem man die Impulse in einer schiefen Richtung durch die Bestrahlung ohne die deckenspitzen durchgeführt wird, die in der Längsrichtung des linearen Laserstrahles und dementsprechend regelmäßig vorhanden sind, nonuniformity der Bestrahlung ablichtet können zurückgehalten werden bestrahlt.