The present invention is a film forming unit for forming a film on a substrate by supplying a coating solution on the substrate from a discharge nozzle, including moving means for moving the discharge nozzle, wherein the moving means comprises a supporting member for supporting the discharge nozzle, a moving member for moving the supporting member, a guide shaft passing through bearing portion which is formed in the supporting member, and an air supply mechanism for supplying air to a space between the bearing portion and the guide shaft. The discharge nozzle discharges the coating solution while moving along the guide shaft. On the substrate the coating solution is applied along the locus of the discharge nozzle movement. Since air is supplied to the space between the bearing portion and the guide shaft, the supporting member can be made to be in the state of floating relative the guide shaft. As a result, even if the discharge nozzle moves at high speed, the discharge of the coating solution is prevented from being disturbed so that the predetermined coating of the coating solution is performed precisely.

De onderhavige uitvinding is een film vormt eenheid voor het vormen van een film op een substraat door een deklaagoplossing op het substraat van een lossingspijp te leveren, met inbegrip van het bewegen van middelen om de lossingspijp te bewegen, waarin het bewegende middel uit een ondersteunend lid voor het steunen van de lossingspijp, een bewegend lid voor het bewegen van het ondersteunende lid bestaat, een gidsschacht die door het dragen van gedeelte overgaat dat in het ondersteunende lid wordt gevormd, en een mechanisme van de luchtlevering om lucht aan een ruimte tussen het dragende gedeelte en de gidsschacht te leveren. De lossingspijp lost de deklaagoplossing terwijl zich het bewegen langs de gidsschacht. Op het substraat wordt de deklaagoplossing toegepast langs de plaats van de beweging van de lossingspijp. Aangezien de lucht wordt geleverd aan de ruimte tussen het dragende gedeelte en de gidsschacht, kan het ondersteunende lid worden gemaakt om in de staat van drijvende verwant de gidsschacht te zijn. Dientengevolge, zelfs als de lossingspijp zich bij hoge snelheid beweegt, wordt de lossing van de deklaagoplossing verhinderd worden gestoord zodat de vooraf bepaalde deklaag van de deklaagoplossing precies wordt uitgevoerd.