An ionization vacuum gauge which can stably perform measurements of
pressure in the intermediate vacuum to high vacuum regions, that is
performed by an ionization-type first measurement element, as well as in
the measurement region intrinsic to a second measurement element. This
ionization vacuum gauge comprises a measurement element vessel, and first
and second measurement parts provided within this measurement element
vessel. The first measurement part comprises component electrodes
including a filament, grid and ion collector, and is of an ionization-type
construction for measurement of the pressure of vacuum states. The second
measurement part is of a construction having different functions from
those of the first measurement part, and is disposed in a space that is
near the extension of the grid axis, and is away from the principal space
for flying of thermal electrons emitted from the filament. A shield plate
is provided between the second measurement part and the component
electrodes, to spatially separate the second measurement part and the
component electrodes. The second measurement part is fixed to an element
fastening plate made from a material with excellent thermal conductivity.
Датчик может стабилизированно выполнить измерения давления в промежуточном вакууме к высоким зонам вакуума, то вакуума ионизацией выполнен элементом измерения ионизаци-tipa первым, также,как в intrinsic зоны измерения к второму элементу измерения. Этот датчик вакуума ионизацией состоит из сосуда элемента измерения, и сперва и вторых частей измерения обеспеченных внутри этот сосуд элемента измерения. Первая часть измерения состоит из компонентных электродов включая нить, решетку и сборник иона, и конструкции ионизаци-tipa для измерения давления положений вакуума. Вторая часть измерения конструкции имея по-разному функции от той из первой части измерения, и размещана в космосе который почти выдвижение оси решетки, и отсутствующая от главным образом космоса для летания термально электронов испущенных от нити. Обеспечены, что между второй частью измерения и компонентными электродами, spatially отделяет плита экрана вторую часть измерения и компонентные электроды. Вторая часть измерения зафиксирована к плите крепления элемента сделанной от материала с превосходной термально проводимостью.
