A MEMs device comprises a component layer including a frame structure and at least one component movably coupled to the frame and an actuator layer including at least one conductive path and at least one actuator for moving the component. The component layer and the actuator layer are bonded together with solder or other materials in lateral alignment. Advantageously the layers are provided with metallization pads and are bonded together in lateral alignment with predetermined vertical gap spacing by solder bonds between the pads. In a preferred embodiment the MEMs device, however bonded, comprises a component layer, an actuator layer and an intervening spacer. The spacer provides the walls of a cavity between the component and the pertinent actuators to permit movement of the component. The walls cover the bulk of the peripheral boundary of the cavity to provide aerodynamic isolation. Advantageously the walls are conductive to provide electrostatic isolation. The device has particular utility in optical cross connection, variable attenuation and power gain equalization.

Un dispositivo di MEMs contiene uno strato componente compreso una struttura della struttura ed almeno un componente mobile accoppiati alla struttura e ad uno strato dell'azionatore compreso almeno un percorso conduttivo ed almeno un azionatore per lo spostamento del componente. Lo strato componente e lo strato dell'azionatore sono legati insieme alla saldatura o ad altri materiali nell'allineamento laterale. Gli strati sono forniti vantaggiosamente dei rilievi di metalizzazione e sono legati insieme nell'allineamento laterale con gioco verticale predeterminato di spacco dai legami della saldatura fra i rilievi. In un metodo di realizzazione preferito il dispositivo di MEMs, comunque, bonded, contiene uno strato componente, uno strato dell'azionatore e un distanziatore d'intervento. Il distanziatore fornisce le pareti di una cavità fra il componente e gli azionatori pertinenti al movimento del permesso del componente. Le pareti riguardano la massa del contorno periferico della cavità per fornire l'isolamento aerodinamico. Le pareti sono vantaggiosamente conduttive fornire l'isolamento elettrostatico. Il dispositivo ha programma di utilità particolare nel collegamento trasversale ottico, nell'attenuazione variabile e nel pareggiamento di guadagno di alimentazione.