An air manager and/or chemical containment apparatus, for environmental control of fumes from wet bench units of semiconductor manufacturing facilities. The air manager system is suitable for installation in an open architecture wet bench or an enclosed mini-environment wet bench, and includes an air source and an air exhaust arranged for flowing air across an open chemical tank, to entrain fumes from chemical in the tank that otherwise may migrate from the immediate vicinity of the tank, and transport such fumes to the exhaust with the air flowed from the air source to the exhaust. The chemical containment apparatus includes: (1) a thin film member including at least one solid portion and at least one cut-out portion; (2) a first scroll member positioned at one side of the thin film member for rotatorily moving the thin film member; (3) a motive driver operatively connected to the first scroll member for rotating the first scroll member; and (4) optionally, a second scroll member positioned at the other side of said thin film member for rotatorily receiving said thin film in synchrony with movement of the first scroll member.

Менеджер воздуха and/or прибор сдерживания химиката, для контрольа за состоянием окружающей среды перегаров от влажных блоков стенда производственных площадей полупроводника. Система менеджера воздуха целесообразна для установки в стенд открытого зодчества влажный или стенд enclosed мини-okrujah5e1 среды влажный, и вклюает источник воздуха и вытыхание воздуха аранжированные, что для пропуская воздуха через открытый химически бак, entrain перегары от химиката в баке который в противном случае может проникнуть от немедленно близости бака, и транспортирует такие перегары к вытыханию с воздухом пропустила от источника воздуха к вытыханию. Химически прибор сдерживания вклюает: (1) член тонкой пленки включая по крайней мере одну твердую часть и по крайней мере одну часть выреза; (2) первый член переченя расположенный на одну сторону члена тонкой пленки для rotatorily двигать член тонкой пленки; (3) побудительный водитель оперативно соединился к первому члену переченя для поворачивать первый член переченя; и (4) опционно, второй член переченя расположенный на другую сторону сказанного члена тонкой пленки для rotatorily получать сказанную тонкую пленку в synchrony с движением первого члена переченя.