A temperature-controlled exhaust assembly with cold trap capability. One embodiment of the exhaust assembly comprises a multi-heater design which allows for independent multi-zone closed-loop temperature control. Another embodiment comprises a compact multi-valve uni-body design incorporating a single heater for simplified closed-loop temperature control. The cold trap incorporates a heater for temperature control at the inlet of the trap to minimize undesirable deposits. One embodiment also comprises a multi-stage cold trap and a particle trap. As a removable unit, this cold trap provides additional safety in the handling and disposal of the adsorbed condensables.

Ein temperaturgeregelter Absaugventilator mit kalter Blockierfähigkeit. Eine Verkörperung des Absaugventilators enthält ein Multiheizung Design, das unabhängigen Vielzonenregeltemperaturregler zuläßt. Eine andere Verkörperung enthält ein kompaktes Multiventil Unikörper Design, das eine einzelne Heizung zu vereinfachtem Regeltemperaturregler enthält. Die kalte Falle enthält eine Heizung zum Temperaturregler am Eingang der Falle, um nicht wünschenswerte Ablagerungen herabzusetzen. Eine Verkörperung enthält auch eine mehrstufige kalte Falle und eine Partikelfalle. Als entfernbare Maßeinheit stellt diese kalte Falle zusätzliche Sicherheit in der Behandlung und in der Beseitigung der absorbierten condensables zur Verfügung.