A method and apparatus for modulating an optical signal using a
micromechanical modulator are disclosed. The modulator comprises a
membrane, which includes a first and a second layer, a substrate layer,
and a substrate, spaced from the membrane to form an air gap. The layers
of the membrane are characterized in that there is a relationship between
the refractive indices of the layers and the refractive index of the
substrate. The membrane is suspended in a first position over the
substrate by a flexible support arrangement. Bias is applied to the
membrane and the substrate to create an electrostatic force to move the
membrane towards the substrate to a second position. The reflectivity of
the device to an optical signal changes as the membrane moves from the
first position to the second position, thereby modulating the signal. In a
preferred embodiment, the thickness of the first and second layers of the
membrane are approximately equal to one-third and one-tenth, respectively,
of a wavelength of the optical signal, as measured within the first and
second layers, respectively. The thickness of the substrate layer is
approximately equal to one-seventh of the wavelength of the optical
signal, as measured within the substrate layer.
Показаны метод и прибор для модуляции оптически сигнала используя micromechanical модулятор/демодулятор. Модулятор/демодулятор состоит из мембраны, которая вклюает первый и второй слой, слой субстрата, и субстрат, размеченной от мембраны для того чтобы сформировать зазор воздуха. Слоями мембраны охарактеризованы в том там будут отношение между рефрактивными индексами слоев и рефрактивным индексом субстрата. Мембрана suspended в первом положении над субстратом гибким расположением поддержки. Смещение приложено к мембране и субстрату для того чтобы создать электростатическое усилие для того чтобы двинуть мембрану к субстрату к второму положению. Отражательная способность приспособления к оптически сигналу изменяет по мере того как мембрана двигает от первое положение к второе положение, таким образом модулирующ сигнал. В предпочитаемом воплощении, толщина первых и вторых слоев мембраны приблизительно равна до 1/3 и 0,1, соответственно, из длины волны оптически сигнала, как измерено в пределах первых и вторых слоев, соответственно. Толщина слоя субстрата приблизительно равна до 1/7 из длины волны оптически сигнала, как измерено в пределах слоя субстрата.
