The present invention provides a micro-electro-mechanical system (MEMS) optical device. The micro-electro-mechanical system (MEMS) optical device includes a mirror having a substrate with an implanted light reflective optical layer thereover, and a mounting substrate on which the mirror is movably mounted. The inclusion of the dopant within the light reflective optical layer increases the tensile stress of the device and tends to correct the concave curvature of the mirror structure toward a desirably flat configuration.

La présente invention fournit un circuit optique micro-électro-mécanique du système (MEMS). Le circuit optique micro-électro-mécanique du système (MEMS) inclut un miroir ayant un substrat avec un thereover optique r3fléchissant léger implanté de couche, et un substrat de support sur lequel le miroir est mobile monté. L'inclusion du dopant dans la couche optique r3fléchissante mince augmente l'effort de tension du dispositif et tend à corriger la courbure concave de la structure de miroir vers une configuration de préférence plate.