This invention pertains to a basic multi-technology application of cascaded beam-formers. A dual MEMS-EO technology platform method involving a two axis deflection micro-mirror cascaded with a three dimensional electro-optical beam-former such as a multi pixel liquid crystal device forms a powerful reflective control site for an incident beam, thereby inherently providing a robust beam control with both coarse and fine beam control capabilities in three dimensions. The electrically controlled two axis micro-mirror is excellent in providing the large angular beam deflections, while the liquid crystal device provides excellent small-beam deflections. This leads to a mechanically robust beam control module. A multipixel MEMS mirror device option coupled with the EO device can also provide simultaneous multi-beam generation capability. Furthermore, use of macro-pixels for both the MEMS and EO devices provides resistance to single pixel dependent catastrophic failure for the overall module. The mirror two-axis control can be supplemented with additional translational mirror motion, giving the ultimate option of cascading two 3-D beam-formers.

Diese Erfindung betrifft eine grundlegende Multitechnologie Anwendung des kaskadischen Lichtstrahls-formers. Eine Doppel-MEMS-EO Technologie-Plattformmethode, die einen die zwei Mittellinie Ablenkung Mikro-Spiegel mit einbezieht, kaskadierte mit einem dreidimensionalen elektrooptischen Lichtstrahl-ehemaligem wie eine multi Pixelflüssigen Kristallvorrichtung Formen einen leistungsfähigen reflektierenden Steueraufstellungsort für einen Ereignislichtstrahl, dadurch in sich selbst sieversieht sieversieht eine robuste Lichtstrahlsteuerung mit den groben und feinen Lichtstrahlsteuerfähigkeiten in drei Maßen. Der elektrisch gesteuerte zwei Mittellinie Mikro-Spiegel ist ausgezeichnet, wenn er die großen eckigen Strahlauslenkungen zur Verfügung stellt, während die flüssige Kristallvorrichtung ausgezeichnete Kleinlichtstrahl Ablenkungen liefert. Dieses führt zu einen mechanisch robusten Lichtstrahlsteuermodul. Eine multipixel MEMS Spiegel-Vorrichtung Wahl, die mit der Elementaroperation Vorrichtung verbunden wird, kann simultane Multilichtstrahl Erzeugung Fähigkeit auch zur Verfügung stellen. Ausserdem stellt Gebrauch der Makro-Pixel für die MEMS und Elementaroperation Vorrichtungen Widerstand zum abhängigen verhängnisvollen Ausfall des einzelnen Pixels für das gesamte Modul zur Verfügung. Die Spiegelzweiachsensteuerung kann mit der zusätzlichen translational Spiegelbewegung ergänzt werden und die entscheidende Wahl der Kaskade des Lichtstrahls-formers zwei 3-D geben.