A method is provided for determining the status of a gas mixture of a laser system including a gas discharge laser which generates an output beam and has a discharge chamber containing a gas mixture within which energy is supplied to the gas mixture by a power supply via application of a driving voltage to a discharge circuit. A master data set of an output parameter such as any of output beam energy, bandwidth, spectrum width, long axial beam profile, short axial beam profile, beam divergence, energy stability, energy efficiency, width of the discharge, temporal beam coherence, spatial beam coherence, spatial pulse width, amplified spontaneous emission and temporal pulse width versus an input parameter such as driving voltage is generated corresponding to an optimal gas mixture status, preferably after a new fill and typically at the factory, and alternatively following a new fill at the fab. Preferably several master data sets are measured and stored following new fills corresponding to various ages and other conditions of the laser system. The master data set is stored into a memory of the control system. Several more calibration data sets are also preferably generated corresponding to other gas mixture or laser operating conditions. At another time, during a check sub-routine preferably during a subsequent start-up procedure or during each subsequent start-up procedure, a current status data set of the output and input parameters is generated corresponding to the current status of the gas mixture. The current status data set is then compared with the master data set and deviations of the current status and master data sets are noted. A follow-up procedure may be performed, preferably automatically as initiated by the processor, based on the comparison.

Un metodo è fornito per la determinazione della condizione di una miscela del gas di un sistema del laser compreso un laser di scarico del gas che genera un fascio dell'uscita ed ha un alloggiamento di scarico contenere una miscela del gas all'interno di cui l'energia è fornita alla miscela del gas tramite un gruppo di alimentazione via l'applicazione di una tensione movente ad un circuito di scarico. Un insieme di dati matrici di un parametro di uscita come c'è ne di energia del fascio dell'uscita, della larghezza di banda, della larghezza di spettro, del profilo assiale lungo del fascio, del profilo assiale del fascio di short, della divergenza del fascio, della stabilità di energia, del rendimento energetico, della larghezza dello scarico, della coerenza temporale del fascio, della coerenza spaziale del fascio, della larghezza spaziale di impulso, dell'emissione spontanea amplificata e della larghezza temporale di impulso contro un parametro dell'input come azionamento della tensione è corrispondere generato ad una condizione ottimale della miscela del gas, preferibilmente dopo che un nuovo materiale di riempimento e tipicamente alla fabbrica ed alternativamente seguente un nuovo materiale di riempimento al fab. Preferibilmente parecchi insiemi di dati matrici sono misurati ed immagazzinati dopo i nuovi materiali di riempimento che corrispondono alle varie età e ad altri stati del sistema del laser. L'insieme di dati matrici è immagazzinato in una memoria del sistema di controllo. Parecchi più insiemi di dati di calibratura sono corrispondere preferibilmente anche generato ad altra miscela del gas o condizioni di gestione del laser. Ad un altro tempo, durante la sub-routine del controllo preferibilmente durante la procedura successiva di start-up o durante l'ogni procedura successiva di start-up, un insieme di dati di stato attuale dell'uscita ed i parametri immessi è corrispondere generato allo stato attuale della miscela del gas. L'insieme di dati di stato attuale allora è paragonato all'insieme di dati matrici e le deviazioni dello stato attuale e gli insiemi di dati matrici sono notati. Una procedura di aggiornamento può essere effettuata preferibilmente automaticamente, come iniziato dal processor, ha basato sul confronto.