A circular piston and a noncircular rod are separately formed as separate parts and the piston and the rod are integrally connected to each other through an adhesive in a state in which the piston is aligned to be concentric with a circular bearing hole of a first air bearing and the rod is aligned to be concentric with a noncircular bearing hole of a second air bearing.

Un pistone circolare e un asta noncircular sono formati esclusivamente come le parti separate ed il pistone e l'asta sono collegati integralmente l'un l'altro attraverso un adesivo in un dichiarare in cui il pistone è stato allineato per essere concentrico con un foro circolare del cuscinetto di un primo cuscinetto di aria e l'asta è stato allineato per essere concentrico con un foro noncircular del cuscinetto di un secondo cuscinetto di aria.