A microelectromechanical (MEMS) switch is described. The switch comprises a cantilever beam having a proximal end and a distal end. The cantilever beam is supported by its proximal end above a substrate by a raised anchor. An intermediate actuation electrode is placed beneath the cantilever beam and is separated from the bottom of the cantilever beam by a narrow gap. Finally, a contact pad or transmission line is placed beneath the cantilever beam and separated from the bottom of the cantilever beam by a larger gap.

Microelectromechanical переключатель (MEMS) описан. Переключатель состоит из консольного луча имея проксимальный конец и дистальный конец. Консольный луч поддержан своим проксимальным концом над субстратом поднятым анкером. Промежуточный электрод возбуждения помещен под консольным лучем и отделен от дна консольного луча узким зазором. Окончательно, пусковая площадка контакта или линия передачи помещены под консольным лучем и отделены от дна консольного луча более большим зазором.