An optical waveguide element capable of being coupled with optical fibers at high coupling efficiency is to be provided. Also an optical waveguide element manufacturing method permitting accurate production of such optical waveguide elements is to be provided. The optical waveguide element is provided with a buffer layer formed over a monocrystalline substrate and an optical waveguide layer formed over the buffer layer, and a recess is formed in the buffer layer along the lengthwise direction of the monocrystalline substrate. The optical waveguide layer is provided to fit into this recess to form a channel optical waveguide. Over the upper face of the optical waveguide layer on the light incidence side and the light emission side, a cladding layer whose refractive index is smaller than that of the optical waveguide layer and whose thickness increases towards the end face(s) in a flared shape is provided in the same width as that of the monocrystalline substrate. By providing the cladding layer whose refractive index is smaller than that of the optical waveguide layer, it is made possible to expand the mode field diameter and substantially reduce the coupling loss between the optical fiber and the optical waveguide element. Further by increasing the thickness of the cladding layer in a flared shape toward the end face(s), it is made possible to gradually compress the mode field diameter and to reduce the optical propagation loss within the optical waveguide.

Een optisch golfgeleiderelement geschikt om aan optische vezels bij hoge koppelingsefficiency worden gekoppeld is worden verschaft. Ook een optische golfgeleiderelement productiemethode die nauwkeurige productie van dergelijke optische golfgeleiderelementen is toelaat worden verstrekt. Het optische golfgeleiderelement wordt voorzien van een bufferlaag die over een monocrystalline substraat wordt gevormd en een optische golfgeleiderlaag die meer dan de bufferlaag wordt gevormd, en een reces wordt gevormd in de bufferlaag langs de richting in de lengte van het monocrystalline substraat. De optische golfgeleiderlaag wordt verstrekt in dit reces passen om een kanaal optische golfgeleider te vormen. Over het hogere gezicht van de optische golfgeleiderlaag aan de lichte weerslagkant en de lichte emissiekant, een bekledingslaag waarvan r i kleiner zijn dan dat van de optische golfgeleiderlaag en de waarvan dikte naar het eindgezicht (s) in een geflakkerde vorm wordt verstrekt in de zelfde breedte zoals dat van het monocrystalline substraat stijgt. Door de bekledingslaag te verstrekken waarvan r i kleiner is dan dat van de optische golfgeleiderlaag, wordt het mogelijk gemaakt om de diameter van het wijzegebied uit te breiden en wezenlijk het koppelingsverlies tussen de optische vezel en het optische golfgeleiderelement te verminderen. Verder door de dikte van de bekledingslaag in een geflakkerde vorm naar het eindgezicht (s) te verhogen, wordt het mogelijk gemaakt de diameter van het wijzegebied geleidelijk aan om samen te persen en het optische propagatieverlies te verminderen binnen de optische golfgeleider.