A defect integrated processing apparatus and method for performing a processing in an integrated fashion of various kinds of edfect and then detecting the accurate number, positions, sizes, etc. of the defects in detail, includes detecting light-and-shade defects based on an image data obtained by picking up an object to be inspected. Edges and minute defect on the object are detected by performing a differential processing of the image data, low contrast light-and-shade defects are detected by performing an integral processing of the image data obtained through the image pick-up device and then a differential processing of an obtained integrated image, and an integrated information of defects is obtained by performing a processing in an integrated fashion of detected defects.

Un difetto integrato procedendo il materiale ed il metodo per realizzare un'elaborazione ad un modo integrato di vari generi di edfect ed allora la rilevazione il numero, le posizioni, i formati, ecc. esatti dei difetti dettagliatamente, include la rilevazione dei difetti dello luce-e-schermo basati sui dati di immagine ottenuti selezionando su un oggetto da controllare. I bordi ed il difetto minuscolo sull'oggetto sono rilevati realizzando un'elaborazione differenziale dei dati di immagine, i difetti bassi dello luce-e-schermo di contrasto sono rilevati realizzando un'elaborazione integrale dei dati di immagine ottenuti tramite il dispositivo di ripresa di immagine ed allora un'elaborazione differenziale di un'immagine integrata ottenuta e le informazioni integrate dei difetti sono ottenute realizzando un'elaborazione ad un modo integrato di difetti rilevati.