A microelectromechanical (MEMS) device has a substrate, and a generally planar moving element, such as a mirror, disposed in parallel to the surface of the substrate. An actuator is operatively engageable with the moving element for selectively actuating the moving element between a first position in a plane horizontal to the surface of the substrate and a second position in that plane. The MEMS device may be effectively used as an optical switch. Various different actuators can be used. Preferably, the device is fabricated using a surface micromachining process.

Eine microelectromechanical Vorrichtung (MEMS) hat ein Substrat und ein im Allgemeinen planares bewegliches Element, wie ein Spiegel, abgeschaffen in der Ähnlichkeit zur Oberfläche des Substrates. Ein Auslöser ist wirksam mit dem beweglichen Element für das bewegliche Element zwischen einer ersten Position in einer Fläche, die engageable zur Oberfläche des Substrates horizontal ist und einer zweiten Position in dieser Fläche selektiv betätigen. Die MEMS Vorrichtung kann als LWL-Schalter effektiv benutzt werden. Verschiedene unterschiedliche Auslöser können benutzt werden. Vorzugsweise wird die Vorrichtung mit einem micromachining Oberflächenprozeß fabriziert.