A thin film piezoresonator, which can be tuned over a wide range of RF frequencies, includes a piezo layer between a first electrode layer and a second electrode layer. An electroactive layer of an electrostrictive material, which experiences a mechanical deformation when an electrical voltage is applied, is disposed between a third electrode layer and the second electrode layer.

Un piezoresonator de la couche mince, qui peut être accordé sur un éventail de fréquences de rf, inclut une couche de piezo entre une première couche d'électrode et une deuxième couche d'électrode. Une couche electroactive d'un matériel d'électrostriction, qui éprouve une déformation mécanique quand une tension électrique est appliquée, est disposé entre une troisième couche d'électrode et la deuxième couche d'électrode.