Several methods and structures for improving the yield of out-of-plane micro-device structures including springs and coils are described. Structures and methods for adjusting the coil diameter after spring release, if necessary, are also disclosed. In one method the radius of curvature of the released elastic members is controlled by depositing a layer of a reflow material and reflowing the layer after release. The high yield structures may be used in numerous electronic applications such as filter circuits.

Описаны несколько методы и структур для улучшать выход структур микро--prisposobleni4 вне-$$$-PLOSKOSTI включая весны и катушки. Структуры и методы для регулировать диаметр катушки после весны выпускают, if necessary, также показаны. В одном методе радиус погнутости выпущенных эластичных членов проконтролирован путем депозировать слой материала reflow и reflowing слой после отпуска. Высокие структуры выхода могут быть использованы в многочисленн электронных применениях such as цепи фильтра.