A position detecting method for detecting a position of a surface of an object. The method includes a first step for detecting registration of the object surface with a predetermined plane with respect to a first direction, while changing the position of the object surface in a direction intersecting with the first direction, a second step for detecting the position of the object surface in the first direction, and determining a detection value in the second detecting step, corresponding to the predetermined plane, by use of an error in the result of the detection made with reference to the predetermined plane, which error is attributable to a difference in the detection position along a direction intersecting with the first direction and upon the same object surface in the first and second detecting steps.

Μια θέση που ανιχνεύει τη μέθοδο για μια θέση μιας επιφάνειας ενός αντικειμένου. Η μέθοδος περιλαμβάνει ένα πρώτο βήμα για την ανίχνευση της εγγραφής της επιφάνειας αντικειμένου με ένα προκαθορισμένο αεροπλάνο όσον αφορά μια πρώτη κατεύθυνση, μεταβαλλόμενη τη θέση της επιφάνειας αντικειμένου σε μια κατεύθυνση που κόβει με την πρώτη κατεύθυνση, ένα δεύτερο βήμα για την ανίχνευση της θέσης της επιφάνειας αντικειμένου στην πρώτη κατεύθυνση, και τον καθορισμό μιας αξίας ανίχνευσης στο δεύτερο βήμα ανίχνευσης, που αντιστοιχεί στο προκαθορισμένο αεροπλάνο, μέσω ενός λάθους στο αποτέλεσμα της ανίχνευσης που γίνεται σε σχέση με το προκαθορισμένο αεροπλάνο, ποιο λάθος αποδίδεται σε μια διαφορά στη θέση ανίχνευσης κατά μήκος μιας κατεύθυνσης που κόβει με την πρώτη κατεύθυνση και επάνω στην ίδια επιφάνεια αντικειμένου στην πρώτη