A technique for forming a fabrication layout, such as a mask layout, for a physical design layer, such as a design for an integrated circuit, includes identifying evaluation points on an edge of a polygon corresponding to the design layer for correcting proximity effects. An evaluation point is determined for the edge based on a first target length for corner segments, a second target length for non-corner segments, and characteristics of the edge. It is then determined how to correct at least a portion of the edge for proximity effects based on an analysis at the evaluation point. Another technique determines an edge type of the edge of the polygon based on the first target length for corner segments, the second target length for non-corner segments, and the characteristics of the edge. Then, the edge is divided into segments based on the edge type and the characteristics of the edge. In a technique used once a segment is determined, it is then determined whether a first end of the segment is a vertex of the polygon. If so, an evaluation point is established on the segment at a distance from the vertex that is substantially greater than half a length of the segment. A correction for the segment is then based on an analysis performed at the evaluation point.

Una tecnica per formare una disposizione di montaggio, quale una disposizione della mascherina, per uno strato fisico di disegno, quale una progettazione per un circuito integrato, include identificare i punti di valutazione su un bordo di un poligono che corrisponde allo strato di disegno per correggere gli effetti di prossimità. Un punto di valutazione è determinato per il bordo basato su una prima lunghezza dell'obiettivo per i segmenti d'angolo, su una seconda lunghezza dell'obiettivo per i segmenti del non-angolo e sulle caratteristiche del bordo. Allora è determinato come correggere almeno una parte del bordo per gli effetti di prossimità basati su un'analisi al punto di valutazione. Un'altra tecnica determina un tipo del bordo del bordo del poligono basato sulla prima lunghezza dell'obiettivo per i segmenti d'angolo, sulla seconda lunghezza dell'obiettivo per i segmenti del non-angolo e sulle caratteristiche del bordo. Allora, il bordo è diviso nei segmenti basati sul tipo del bordo e sulle caratteristiche del bordo. In una tecnica ha usato una volta che un segmento è determinato, esso allora è determinato se una prima conclusione del segmento fosse un vertice del poligono. In caso affermativo, un punto di valutazione è stabilito sul segmento ad una distanza dal vertice che è sostanzialmente più grande della metà di lunghezza del segmento. Una correzione per il segmento allora è basata su un'analisi effettuata al punto di valutazione.