A movable MEMS mirror system with a mirror position detection system, such as a capacitive sensor, is calibrated using a physical stop with a range of movement of the mirror structure. Thus, drift in the position detection system can be compensated without the need for a separate reference signal source as used in conventional systems.

Ένα κινητό σύστημα καθρεφτών MEMS με ένα σύστημα ανίχνευσης θέσης καθρεφτών, όπως ένας χωρητικός αισθητήρας, είναι βαθμολογημένο χρησιμοποιώντας μια φυσική στάση με μια ακτίνα μετακίνησης της δομής καθρεφτών. Κατά συνέπεια, η κλίση στο σύστημα ανίχνευσης θέσης μπορεί να αντισταθμιστεί χωρίς την ανάγκη για μια χωριστή πηγή σημάτων αναφοράς όπως χρησιμοποιείται στα συμβατικά συστήματα.