Accurate characterization of microelectromechanical systems (MEMS) geometry is critical for device design and simulation, for material property extraction, and for post-fabrication trimming. According to the present embodiment, a method for characterizing parameters describing MEMS structures resulting from the fabrication process or process variations is presented. According to the prefered embodiment, experimentally obtained natural frequencies are compared with numerical simulations to identify unknown values of structural parameters or parameter variations. Further, the prefered embodiment teaches how electrostatically-driven laterally resonant comb-drive MEMS test structures with prescribed changes in spring width are used to characterize systematic variations in process offsets and sidewall angles. The disclosed technique is both in-situ and non-destructive.

Genaue Kennzeichnung der microelectromechanical Systeme (MEMS) Geometrie ist für Vorrichtung Design und Simulation, für materielle Eigenschaft Extraktion und für Pfosten-Herstellung Zutat kritisch. Entsprechend der anwesenden Verkörperung strukturiert eine Methode für das Kennzeichnen der Parameter, die MEMS beschreiben, das Resultieren aus dem Herstellung Prozeß, oder Prozeßveränderungen wird dargestellt. Entsprechend prefered Verkörperung, werden experimentell erreichte natürliche Frequenzen mit numerischen Simulationen verglichen, um unbekannte Werte der strukturellen Parameter oder der Parameterveränderungen zu kennzeichnen. Weiter prefered Verkörperung unterrichtet, wie elektrostatisch-gefahrene seitlich Resonanz MEMS Teststrukturen mit vorgeschriebenen Änderungen im Frühjahr Breite werden verwendet, systematische Schwankungen des Prozeßversatzes und der Seitenwandwinkel zu kennzeichnen Kamm-fahren. Die freigegebene Technik ist in-situ- und zerstörungsfrei.