Reticles and reticle blanks are disclosed, especially for charged-particle-beam microlithography, that include a peripheral frame and a support frame bonded to each other in a manner that substantially reduces distortion at the bonds as well as membrane distortion. The peripheral frame is bonded peripherally to the support frame in any of various manners including an anodic weld of glass and silicon (the glass containing mobile ions) and a eutectic metal silicon bond wherein the metal can be, e.g., gold, aluminum, germanium, or tin. The glass-silicon and eutectic bonds in which the metal is, e.g., gold, are also resistant to chlorine gas used for routine cleaning of the reticle. In the case of the eutectic metal bond, an intervening layer of chrome or nichrome can be applied between the metal layer and the bonding surface to enhance bonding. Also, the eutectic bond can be formed by incubation at a temperature profile that favors formation, in the welds, of multiple, minute bonding points in metallic island structures on the bonding surfaces. Also disclosed are methods for making reticles and reticle blanks.

Τα σταυρονήματα και τα κενά σταυρονημάτων αποκαλύπτονται, ειδικά για το microlithography θχαργεδ-μόριο-ακτίνων, τα οποία περιλαμβάνουν ένα απομακρυσμένο πλαίσιο και ένα πλαίσιο υποστήριξης που συνδέονται το ένα με το άλλο σε έναν τρόπο που μειώνει ουσιαστικά τη διαστρέβλωση στους δεσμούς καθώς επίσης και τη διαστρέβλωση μεμβρανών. Το απομακρυσμένο πλαίσιο συνδέεται περιφερειακά με το πλαίσιο υποστήριξης σε οποιοιδήποτε από τους διάφορους τρόπους συμπεριλαμβανομένης μιας ανοδικής συγκόλλησης του γυαλιού και του πυριτίου (το γυαλί που περιέχει τα κινητά ιόντα) και ενός ευτηκτικού δεσμού πυριτίου μετάλλων όπου το μέταλλο μπορεί να είναι, π.χ., χρυσός, αργίλιο, γερμάνιο, ή κασσίτερος. Το γυαλί-πυρίτιο και οι ευτηκτικοί δεσμοί στους οποίους το μέταλλο είναι, π.χ., χρυσός, είναι επίσης ανθεκτικοί στο χλώριο που χρησιμοποιείται αέριο για το στερεότυπο καθαρισμό του σταυρονήματος. Στην περίπτωση του ευτηκτικού δεσμού μετάλλων, ένα επεμβαίνοντας στρώμα του χρωμίου ή nichrome μπορεί να εφαρμοστεί μεταξύ του στρώματος μετάλλων και της συνδέοντας επιφάνειας για να ενισχύσει τη σύνδεση. Επίσης, ο ευτηκτικός δεσμός μπορεί να διαμορφωθεί από την επώαση σε ένα σχεδιάγραμμα θερμοκρασίας που ο σχηματισμός ευνοιών, στις συγκολλήσεις, της πολλαπλάσιας, μικρής σύνδεσης δείχνει στις μεταλλικές δομές νησιών στις συνδέοντας επιφάνειες. Επίσης αποκαλύπτονται οι μέθοδοι για τα σταυρονήματα και τα κενά σταυρονημάτων.