An improvement is proposed in the method for the preparation of a frame-supported pellicle involving a step in which a resin film for the pellicle membrane formed on the surface of a substrate plate by the solution casting method is adhesively bonded to a rigid pellicle frame and then the substrate plate is removed by separating from the resin film by pulling the substrate and the frame apart in a gaseous atmosphere of which the relative humidity is 80% or higher in contrast to the conventional procedures in which this step is conducted either in water or in a gaseous atmosphere of an air-conditioned clean room having a relative humidity never exceeding 60%. By virtue of this unique procedure, an outstandingly small number of dust particles are deposited on the pellicle membrane obtained by the removal of the substrate therefrom along with an advantage of very smooth and easy removal of the substrate not to cause slack or rupture of the membrane.

Eine Verbesserung wird in der Methode für die Vorbereitung eines Rahmen-gestützten pellicle vorgeschlagen, das einen Schritt mit einbezieht, in dem ein Harzfilm für die pellicle Membrane, die auf der Oberfläche einer Substratplatte durch die Lösung Gußteilmethode gebildet wird, anhaftend zu einem steifen pellicle Rahmen abgebunden wird und dann die Substratplatte durch das Trennen vom Harzfilm entfernt wird, indem man das Substrat und den Rahmen in einer gasförmigen Atmosphäre auseinanderzieht, von der die relative Feuchtigkeit 80% ist, oder höher im Gegensatz zu den herkömmlichen Verfahren, in denen dieser Schritt entweder in Wasser oder in eine gasförmige Atmosphäre eines klimatisierten sauberen Raumes geleitet wird, der eine relative Feuchtigkeit 60%, hat nie zu übersteigen. Aufgrund dieses einzigartigen Verfahrens werden eine outstandingly kleine Anzahl von Staubpartikeln auf der pellicle Membrane niedergelegt, die daher durch den Abbau des Substrates zusammen mit einem Vorteil des sehr glatten und einfachen Abbaus des Substrates, um erhalten wird Durchhang oder Abbruch der Membrane nicht zu verursachen.