A method and apparatus for selecting an optimum frequency for driving a transducer in a megasonic cleaning system. The method comprises the steps of selecting a plurality of frequency values that span a frequency range containing an optimum frequency for driving a piezoelectric crystal, determining the reflection coefficient at each frequency value, fitting the data set to a function, obtaining the first derivative equation of the function, finding the roots of the first derivative equation to yield a set of roots, and selecting the optimum frequency from the set of roots. The reflection coefficient is defined as the reflected power divided by the forward power. The apparatus comprises a microprocessor, a frequency generator, a directional coupler/detector and an analog to digital converter circuit. Software running on the microprocessor uses a forward power signal and a reflected power signal from the analog to digital converter circuit to generate the reflection coefficient and to calculate the optimum frequency for driving the megasonic transducer.

Un metodo e un apparecchio per la selezione della frequenza ottimale per l'azionamento del trasduttore in un sistema megasonic di pulizia. Il metodo contiene i punti la selezione della pluralità di valori di frequenza che misurano una gamma di frequenza che contiene una frequenza ottimale per l'azionamento del cristallo piezoelettrico, la determinazione del coefficente di riflessione ad ogni valore di frequenza, la misura dell'insieme di dati ad una funzione, ottenere la prima equazione derivative della funzione, l'individuazione delle radici della prima equazione derivative per rendere un insieme delle radici e la selezione della frequenza ottimale a partire dall'insieme delle radici. Il coefficente di riflessione è definito come l'alimentazione riflessa divisa dall'alimentazione di andata. L'apparecchio contiene un microprocessore, un generatore di frequenza, un coupler/detector direzionale e circuito a digitale del convertitore analog. Il software che funziona sul microprocessore usa un segnale di andata di alimentazione e un segnale riflesso di alimentazione dal circuito a digitale del convertitore analog generare il coefficente di riflessione e calcolare la frequenza ottimale per l'azionamento del trasduttore megasonic.