Specific embodiments of the present invention provide a chemical-mechanical
planarization apparatus for planarizing an object comprising a platen
assembly for holding an object having a target surface to be planarized. A
polishing pad is configured to contact the object during planarization
with a contact portion over a contact area which is smaller in area than
the target surface. The polishing pad has a noncontact portion which is
not in contact with the object during planarization. The polishing pad is
movable relative to the object to move the noncontact portion in contact
with the object and move the contact portion out of contact with the
object. A conditioner is configured to condition the noncontact portion of
the polishing pad. The noncontact portion of the polishing pad may be
conditioned continuously during planarization of the object by the
polishing pad. An abrasive may be delivered to the contact area between
the polishing pad and the target surface of the object.
Las encarnaciones específicas de la actual invención proporcionan un aparato producto-meca'nico del planarization para planarizing un objeto que abarca un montaje del cristal de exposición para llevar a cabo un objeto que tiene una superficie de la blanco para ser planarized. Un cojín que pule se configura para entrar en contacto con el objeto durante el planarization con una porción del contacto sobre un área de contacto que sea más pequeña en área que la superficie de la blanco. El cojín que pule tiene una porción sin contacto que no sea adentro contacto con el objeto durante el planarization. El cojín que pule es movible concerniente al objeto mover la porción sin contacto en contacto con el objeto y mover la porción del contacto de contacto con el objeto. Un acondicionador se configura para condicionar la porción sin contacto del cojín que pule. La porción sin contacto del cojín que pule se puede condicionar continuamente durante el planarization del objeto por el cojín que pule. Un abrasivo se puede entregar al área de contacto entre el cojín que pule y la superficie de la blanco del objeto.
