A piezoelectric element having a piezoelectric film where the difference in
the quantity of lead along the thickness of the film is minimized. The
film is obtained by first applying, at least once, a first sol for use in
forming a PZT film on a substrate having a lower electrode formed thereon.
Second, applying a second sol having the greater lead content than the
first sol. Third, subjecting these films to heat treatment at a
predetermined temperature at least once. The second sol has a composition
capable of forming a piezoelectric film having a Perovskite structure
expressed generally by A.sub.x B.sub.y O.sub.3, and the content of
material constituting the A site of the first sol is greater than what
constitutes the A site of the second sol.
Un elemento piezoelettrico che ha una pellicola piezoelettrica in cui la differenza nella quantità di cavo lungo lo spessore della pellicola è minimizzata. La pellicola è ottenuta in primo luogo applicando, almeno una volta, un primo solenoide per uso nel formare una pellicola di PZT su un substrato che fa formare un elettrodo più basso su ciò. In secondo luogo, applicando un secondo solenoide che ha il tenore in piombo più grande che il primo solenoide. In terzo luogo, sottoponendo queste pellicole al trattamento termico ad una temperatura predeterminata almeno una volta. Il secondo solenoide ha una composizione capace di formare una pellicola piezoelettrica che fa una struttura del perovskite esprimere generalmente da A.sub.x B.sub.y O.sub.3 ed il contenuto di materiale che costituisce il luogo di A del primo solenoide è più grande di che cosa costituisce il luogo di A del secondo solenoide.