An apparatus for processing a substrate comprising a substrate holding mechanism for holding the substrate substantially horizontally, a chemical solution discharge/suction mechanism having a chemical solution discharge/suction portion which has a chemical solution outlet for discharging a chemical solution onto the substrate and chemical solution inlets for sucking up the chemical solution present on the substrate, and a chemical solution supply/suction system for supplying the chemical solution to the chemical solution discharge/suction mechanism simultaneously with sucking the chemical solution by the chemical solution supply/suction mechanism.

Um instrumento para processar uma carcaça que compreende uma carcaça que prende o mecanismo para prender a carcaça substancialmente horizontalmente, um mecanismo químico da solução discharge/suction que têm uma parcela química da solução discharge/suction que tenha uma tomada química da solução para descarregar uma solução química nas entradas da solução da carcaça e do produto químico para sugar acima da solução química atual na carcaça, e um sistema químico da solução supply/suction para fornecer a solução química ao mecanismo químico da solução discharge/suction simultaneamente com sugar a solução química pelo mecanismo químico da solução supply/suction.